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產品特點

1. 超高真空兼容性
   蒸汽壓極低（3×10⁻¹⁴ torr），適用於渦輪分子泵、離子泵等超高真空係統，維持反應室純淨度。
2. 熱穩定性
   蒸發率和降解率極低，在 250℃下長期使用仍保持性能穩定，避免殘留物影響設備運行。
3. 材料兼容性
   與幾乎所有彈性體（如 Viton、Kalrez）、塑料（如 PTFE）、金屬兼容，不產生溶脹或力學性能變化。
4. 可回收性
   通過中和、精餾、氟化再造等工藝，再生油性能與新油一致，回收率達 95%-98%，環保且降低成本。
5. 食品級認證
   獲得 NSF H1 認證，可用於食品加工設備中與食品偶然接觸的部件。

應用領域

1. 真空泵與真空係統
   適用於萊寶（Leybold）、愛德華（Edwards）等品牌的高真空設備，尤其在半導體製造中的等離子體蝕刻、化學氣相沉積（CVD）等工藝中表現優異。
2. 半導體芯片加工
   處理腐蝕性氣體（如 NF₃、ClF₃）時，可保護真空泵及反應腔室，延長設備壽命並減少停機時間。
3. 高溫工業場景
   用於高溫軸承、鏈條、齒輪的潤滑，例如工業烤箱傳送帶、航空航天部件等。
4. 特種氣體處理
   在氟氣、矽烷等氣體的輸送和存儲係統中，提供抗腐蝕潤滑和密封。