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Krytox™VPF 1525 潤滑油

  • 所屬分類：科慕
  • 二維碼：
  • 尤其適用於半導體芯片加工過程中的蝕刻和沉澱過程特種氣體處理。
谘詢熱線：0769-8535 8431
  • 產品描述
  • 產品特點
    • 化學穩定性強：耐強酸、強堿，與氟氣、SiH4 等特種氣體，強腐蝕性物質、強氧化劑、還原劑等均不發生反應。
    • 不燃燒性：不含氫元素，耐氧化，無閃點，無自燃點，可避免火災隱患，滿足半導體等行業對安全性的嚴格要求。
    • 熱穩定性優異：蒸發率和降解率極低，能避免殘留物質形成，從而維持半導體工業中反應室的純淨度及高真空度。
    • 潤滑性能卓越：在較寬的操作溫度範圍、高負載、高壓強情況下，均具有良好的潤滑性能，能有效減少磨耗，對真空泵及壓縮機等設備維持良好運行性能至關重要。
    • 粘度和蒸汽指標穩定可靠：能夠保持極低的回流率，從而持續保證係統的高真空度。
  • 應用領域
    • 真空泵和真空係統：適用於各種真空泵和真空係統，尤其適用於半導體工業真空泵，得到萊寶（Leybold）、愛德華（Edwards）、荏原（Ebara）等世界真空泵製造商的認可。
    • 半導體芯片加工：尤其適用於半導體芯片加工過程中的蝕刻和沉澱過程特種氣體處理。
    • 其他特種氣體行業：可用於其他特種氣體行業真空係統泵浦中。

       

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